根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对山东大学微电子学院特气系统搬迁进行单一来源招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：山东大学微电子学院特气系统搬迁
项目编号：SDJXGF20190508-Q023
项目联系方式：
项目联系人：马玉刚
项目联系电话：0531-88369797
采购单位联系方式：
采购单位：山东大学
采购单位地址：山东省济南市山大南路27号
采购单位联系方式：鲁上村 0531-88363689
一、拟采购的货物或者服务的说明:
微电子学院软件园校区的超净实验室正在建设当中，特气系统需要先于其他设备搬迁，在超净实验室建设单位完工撤走之前施工，以保障整个搬迁各环节的紧凑衔接。特气系统是为ICP、磁控溅射系统、PECVD、管式炉，氧等离子体清洗等设备提供特殊气体，为大型仪器提供普通氮气和压缩空气，并把仪器尾气处理成可排放的无害气体。半导体器件与电路制造过程中使用的特种气体大都具有易燃、易爆、有毒等危险特性，需要质量可靠、技术过硬，服务完善的专业设备提供与安装公司提供特气方案。
二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:
上海正帆科技股份有限公司自2000年成立以来，在半导体业多个领域提供制程特气解决方案，先后通过多项国际与国内的认证，在特殊气体供应系统、气体泄漏侦测系统、尾气处理系统方面在国内技术较为领先。本项目需要搬迁的特气系统是2012年由上海正帆科技股份有限公司制造和安装的。搬迁之后，部分超期配件需要更换，气路布局将按照新的设备布局的情况重新设计。除了硬件上的变动，利旧的控制中心设备的软件部分也需要按照新情况修改，由原供货及施工安装公司上海正帆科技有限公司来承担此次搬迁项目才能做到在短时间内，安全、有效、合理的达到与原系统完全兼容，保证搬迁后的安全运行。此次搬迁任务的承担方具有无可替代性，需要由原厂家上海正帆科技股份有限公司担任，以获得较好的设计方案和软硬件兼容性，安全快速的完成搬迁任务。
三、开标时间：2019年12月31日 08:45
四、拟定的唯一供应商名称及其地址：
上海正帆科技股份有限公司 上海市闵行区地址上海市闵行区春中路56号106-108室
五、其它补充事宜
公示期：2019-12-24至2019-12-30
六、预算金额
预算金额：140.0 万元（人民币）